主要性能參數(shù)

晶體結(jié)構(gòu)

面心立方

熔點（℃）

1420

密度

2.4（g/cm³）

導(dǎo)電類型/摻雜物質(zhì)

I型非摻

P摻B

N摻P

電 阻 率

>1000Ωcm

10^-3~10⁴Ωcm

10^-3~10⁴Ωcm

E P D

≤100∕cm²

≤100∕cm²

≤100∕cm²

氧含量（∕cm3）

≤1~1.8×101⁸

≤1~1.8×10¹⁸

≤1~1.8×10¹⁸

碳含量（∕cm3）

≤5×10¹⁶

≤5×10¹⁶

≤5×10¹⁶

尺寸

10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm

可按照客戶需求，定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.3-0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm）

拋光

單面或雙面

晶面定向精度

±0.5°

邊緣定向精度

2°（特殊要求可達到1°以內(nèi)）

取向

<100>、<110>、<111>等

包裝

100級潔凈袋，1000級超凈室